等離子廢氣凈化器在電催化總的規(guī)劃概念下，分三個即獨立又混成的激起系統(tǒng)：微波激起區(qū)、等離子激起區(qū)、極板激起區(qū)。每個激起區(qū)有它特定的功用，但在原理上有它相似的中心。

降解揮發(fā)性污染物傳統(tǒng)的處置方法如吸收、吸附、冷凝和平息等，關于低濃度的等離子廢氣凈化器很難完結，而光催化降解等離子廢氣凈化器又存在催化劑簡單失活的問題，使用低溫等離子體處置等離子廢氣凈化器可以不受上述條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢。但因為等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技能等根底學科之上的交叉學科。因此,目前能老練的操控該技能的單位的少。大局部宣傳選用低溫等離子技能處置廢氣的宣傳都不是意義上的低溫等離子廢氣處置技能。

低溫等離子體技能在廢氣處置中的使用跟著工業(yè)經(jīng)濟的開展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等職業(yè)發(fā)生的揮發(fā)性廢氣也日漸添加，這些廢氣不只會在大氣中逗留較長的時間，還會分散和漂移到較遠的中心，給環(huán)境帶來嚴峻的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康發(fā)生的危害；另外工業(yè)煙氣的無操控排放使性的大氣環(huán)境日益惡化，酸雨(主要來源于工業(yè)排放的硫氧化物和氮氧化物)的危害惹起了各國的注重。因為大氣受污染而酸化，引起了生態(tài)環(huán)境的破壞，嚴峻災禍頻頻發(fā)作，給人類形成了宏大丟失。因此選擇一種經(jīng)濟、可行性強的處置方法勢在必行。