低溫等離子廢氣處理設備，低溫等離子廢氣處理技術采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，初用于氟利昂類、哈隆類物質的分解處理，后延伸惡臭、異味、氣體處理。該技術節(jié)能、環(huán)保，應用范圍廣，所有化工生產環(huán)節(jié)產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分解效果。

低溫等離子處理設備主要是利用放電來產生很多的粒子，然后對分子進行降解、氧化、裂解以及電離。近年來，低溫等離子處理工藝重視的一個問題。將低溫等離子處理工藝應用到低濃度、大風量廢氣處理中，具有處理量大、低能耗等優(yōu)點。但是，這種處理工藝在應用的過程中會產生很多副產物，不能夠廢氣降解為水和二氧化碳。

有關實驗證明采用電暈放電形式的低溫等離子處理惡臭廢氣是可行的，停留時間越長、電壓越高，脫除效果越好，實驗中測試結果表明當停留時間大于50 s，電壓25 kV時惡臭物質的去除率基本大于90％ ，進一步延長停留時間和升高電壓，去除效率并不會大幅度提高。廢氣中氧氣濃度的提高可以明顯提高硫化氫脫除率。很多次的試驗結果基本上與實驗室的試驗結果相符，但要取得和實驗室同樣的處理效率，中試停留時間要比實驗室試驗的停留時間長。